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碳氢化合物气体在热固体表面上发生热分解并在该固体表面上沉积的炭素材料,它不是真正的...沉积速度取决于上述工艺参数。温度高，炉压大，流量多，沉积速度快，具体参数要根据沉积炉大小，经实验而定。加热方式可分为直接加热法和间接加热法。直接加热法 ...
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