集成电路铜布线

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周期系ⅢA族元素。元素符号Al,原子序数13,原子量26....近年开发出新型含硅、钯的铝合金,耐腐蚀,能抗电应力和机械应力,符合大规模集成电路的布线要求。铝与氧猛烈反应并放出大量热(1600千焦/摩氧化铝),高温时能使许多金属氧化物还原 ...

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