更新时间:-- | 阅读量: 81
研究电子束器件的工作原理、特性、器件结构及制造工艺的科学。电真空器件的分支学科。......一套全新的高分辨率刻蚀技术。它所加工的图形分辨率高、线条边缘陡直。电子束刻蚀已成为加工亚微米尺寸微电子器件的重要手段。
搜索到与“ 深亚微米器件”相关的文献共 0条
010-56259535
关注中教数据库
Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved
个人中心
退出
