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除感应同步器以外,高精度位移传感元件还有光栅、磁栅等,高精度角位移传感元件有多极旋...由于感应同步器制作工艺和相关的I/D转换技术的进展，目前直线式感应同步器精度可达±1μm，国际上最高水平达±0.1μm，分辨率达0.03μm，重复定位 ...
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