FZ单晶

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用区熔法单晶生长技术制备的半导体硅材料,是重要的硅单晶产品。由于硅熔体与坩埚容器起...FZ单晶的氧含量比直拉硅单晶(见半导体硅材料)的氧含量低2~3个数量级,这一方面不会产生由氧形成的施主与沉积物,但其机械强度却不如直拉单晶硅,在器件制 ...

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