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    射频等离子体增强化学气相沉积

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    碳氢化合物在一定的温度下分解,气相碳在基体上沉积,形成具有金刚石晶体结构的薄膜的工艺...射频等离子体化学气相沉积法（R.F.PCVD）如果用102～104kHz的高频电流使反应气体放电，则成为高频等离子体化学气相沉积法。采用CH4与H2 ...

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