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发射光束垂直于芯片表面的半导体激光器。它是唯一能够实现单片集成二维列阵的器件。...按其腔体结构分为三种类型，即弯折腔、水平腔和垂直腔表面发射半导体激光器。弯折腔器件的出光面平行于芯片表面，发射光束自然垂直于芯片表面。水平腔器件的出光面垂 ...
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