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利用气态物质在一固体表面上进行化学反应,生成固态沉淀物的过程称为化学气相沉积(CVD...三种化学气相沉积法简介如下：（1）化学喷雾沉积它是将物质溶解在适当溶剂中，用喷雾器使溶液成微小雾滴，送至离加热基体几毫米以内的地方，反应物气化并在固 ...
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