衬底
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旧时衙役谓官匪勾结。《切口·衙役》: “衬底: 差役对于挂号帮匪,供其膳宿,且告本地情形...谁强谁弱。”

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篮宝石衬底上氮化镓薄膜的声表面波特性研究
研究了蓝宝石上非掺杂GaN，p型GaN和p-GaN／n-GaN 3种薄膜材料的声表面波特性。在p型GaN薄膜中观测到中心频率分别为255 MHz和460 MHz的Rayleigh模和Sezawa模，插...

《压电与声光》 2014年3期关键词: "氮化镓薄膜","声表面波","集成" 收藏
Al2 03衬底上制备非晶碳薄膜及其场发射特性研究
在Al2 03陶瓷衬底上用直流磁控溅射技术沉积过渡层Mo，再利用微波等离子体化学沉积系统在Mo过渡层上制备非晶碳薄膜，利用X线衍射(XRD)、拉曼(Raman)和电镜扫描(SEM)技术分析了薄膜的结构...

《压电与声光》 2015年4期关键词: "非晶碳","场发射","Al2","03啕瓷" 收藏
基于LCP柔性衬底的MEMS V型梁结构的设计制备与表征
为探索在复杂环境应用中柔性衬底弯曲对V型梁结构力学特性的影响,提出了一种基于LCP柔性衬底弯曲条件下MEMS V型梁结构的力学分析方法,对柔性MEMS V型梁器件的弯曲特性从软件仿真和实验验证两个方面...

《电子器件》 2020年01期关键词: "MEMS"," 弯曲特性"," 柔性衬底弯曲"," V型梁结构"," 力学特性" 收藏