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用于直拉法单晶生长的设备。用于硅、锗、锑化铟等半导体材料的制备,是生产中应用最为广...70年代中期,炉装料量增至8~10kg,单晶达φ76.2mm,并已具有单晶直径自动控制器。80年代,单晶直径更增加到125mm和150mm,出直拉单晶 ...
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