EDS分析

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电子束轰击试样表面将产生特征X射线,不同元素有不同波长的特征X射线,它们有不同的特征...图5-3-4能谱仪示意图1—电子探针2—Si(Li)探测器3—二次电子探测器4—前置放大5—液氮6—放大器7—模数转换器8—扫描控制9—多道分析器1 ...

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