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由于离子束(常用Ar+、Kr+和Xe+等)轰击而发生不同成分的固体材料(如薄膜与衬底)的界面两...在高剂量下，离子束混合可使硅化物体系形成更富硅的亚稳晶态相或非晶态混合层。难溶混的体系可采用在惰性基材上沉积多层薄膜的方法，其优点是混合层 ...
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