离子增强沉积

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邹世昌,凝聚态物理学家,半导体器件专家,中国科学院院士。为建立我国原子能工业作出...(4)离子束增强沉积:负责国家“863高技术材料领域材料表面优化”专题,建立并掌握了可控、可预置和可重复的离子束增强沉积技术,合成了与基体有很强粘附力, ...

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