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体微加工结构(指整块砖片腐蚀而成的结构或电子器件,相对于面微加工结构surface microma
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针对在回转体零件表面加工微织构的难题,文中建立了回转体表面微细电解加工的多物理场耦合数学模型,利用COMSOL Multiphysics软件进行了仿真求解。设计了掩膜电解加工专用夹具和电解液系统,优化...
《机械设计》 2020年03期 关键词: "微细电解加工"," 回转体表面"," 过程仿真"," 工艺试验" 收藏
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