压电薄膜

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电子科技大学曲喜新等完成。在国内首创采用自制的直流磁控溅射设备,制得优质的氮化铝...薄膜表面光滑,内部致密,无色透明,附着牢,内应力小,微晶取向优良,具有好的介电性能和压电性能,且工艺稳定,重复性好。这种薄膜材料具有高声速、低色散等特点 ...

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