离子束刻蚀
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〈技〉ion beam etching forVHF acoustic bulk wave quartz crystal resona-tors.

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钽酸锂晶体滤波器的离子束刻蚀技术研究
以钽酸锂晶体作为晶体滤波器压电材料。通过优化离子束刻蚀工艺参数，采用间歇式离子束刻蚀方法，解决了刻蚀区微裂纹工艺问题，使厚度为60 t_'m钽酸锂晶片减薄至30 t_'m。利用反台阶结...

《压电与声光》 2014年3期关键词: "晶体滤波器","钽酸锂","离子束刻蚀","高频","宽带" 收藏