硅片
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多晶硅太阳电池片生产中的管式PECVD研究
本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成Si Nx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方法。

《自动化技术与应用》 2015年02期关键词: "PECVD"," 钝化"," 太阳电池"," 多晶硅" 收藏
晶体硅太阳电池硅片质量控制
硅片作为太阳能电池片的载体，其质量好坏直接决定电池的转换效率。晶体硅太阳电池硅片制备过程包括铸锭多晶硅制备、直拉单晶硅制备、硅片切割等，在工艺路线一定的情况下，通过对原料处理过程、晶体硅生长过程及硅片...

《邢台职业技术学院学报》 2015年1期关键词: "铸锭多晶硅","直拉单晶硅","多线切割","硅片","质量控制" 收藏
6 英寸高均匀性P 型硅外延片的工艺研究
主要进行了6 英寸（152.4 mm）高均匀性P 型硅外延片的生产工艺研究。利用 PE-2061S 型桶式外延炉，在重掺硼的硅衬底上化学气相沉积P/P+ 型硅外延层。通过流场调节工艺、基座包硅工艺、变...

《电子与封装》 2015年9期关键词: "6","英寸","均匀性","P","型硅外延","非主动掺杂" 收藏
硅胶鼓室支撑片用于中耳手术的安全性验证
目的通过动物实验验证硅胶鼓室支撑片用于损伤的中耳黏膜的安全性。方法 18只豚鼠(重350g,12～14周),全麻下测试听力后划开鼓膜将硅胶片修剪后放置于划伤的鼓岬黏膜表面。4周后,再次麻醉后观察鼓膜愈...

《中华耳科学杂志》 2020年03期关键词: "硅胶片"," 中耳粘连"," 黏膜"," 炎性反应" 收藏