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简称CVD法,是以气相原材料经化学反应而淀积固体薄膜的方法。由于制备的薄膜能与基体紧密...⑤金属有机化合物气相淀积方法(MOCVD),采用金属有机化合物气相源的CVD方法。该法可制备结构精细的多层金属或半导体膜是当代微电子技术的一种重要 ...
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