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又称卢瑟福背散射分析。以卢瑟福散射现象为基础进行薄膜或材料近表面层化学成分分析...用于分析单元素自支撑薄膜的成分和厚度，均匀多元素试样的元素成分、含量及轻元素基体中重元素杂质的成分、含量和分布情况，具有无损、快速且无需标准样品等优点，成 ...
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