辐射谱
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radiation spectrometer

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同步辐射光电离质谱检测氟原子在二氧化硅表面反应产物
采用微波放电等离子体源产生高密度F原子,结合同步辐射真空紫外光电离质谱全面检测F原子在二氧化硅表面刻蚀反应的产物,并探究其反应机理。通过扫描同步辐射光子能量,获得具有特定质量选择的离子光电离效率谱,测...

《质谱学报》 2020年01期关键词: "真空紫外光电离质谱"," 同步辐射"," 微波放电"," 氟原子"," 二氧化硅"," 电离能" 收藏