无损检测集成技术

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光波辐照样品(气体、液体或固体)时因其能量被吸收而激发声波的能量转换现象。早在1...光声成像技术可用于无损检测各种形状的固体亚表面结构,尤其对大规模集成电路质量的检测,远优于其他检测方法。②光声谱技术。若激光频率为γ,斩光器的工作频率为 ...

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