连续波辐照

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激光再结晶是非晶或多晶层在激光辐照下进行的结晶.它是激光退火的基本物理过程,称为离子...一般使一个0.5μm厚的非晶层再结晶,连续波激光辐照时间需数毫秒或更长一些.SOI激光再结晶是1980年J.F.Gibbons等提出的.在绝缘衬底上 ...

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