超声喷雾热解
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超声喷雾热解法制备AZO薄膜及其光致发光性能研究
利用超声喷雾热解法以乙酸锌、硝酸铝为Zn、Al源配制前驱体溶液，按不同的Zn、Al原子比（1:0.02，1：0.03，1：0.04，1：0.05和1:0.06）在单晶硅(100)衬底上制备出具有较好光...

《辽宁师范大学学报（自然科学版）》 2015年1期关键词: "AZO薄膜","超声喷雾热解","光致发光谱","表面形貌","薄膜结构" 收藏