衬底温度

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在衬底基体上,采用各种制膜技术,沉积一层薄膜所制得的超导材料。超导薄膜在超导材料中占...不管是高的沉积衬底温度和低的热处理温度,还是低的沉积衬底温度和高的热处理温度,都应该在保证薄膜优良性能的同时尽量采用较低的温度,因为这在半导体衬底上 ...

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