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决定半导体材料的基本物理特性,即原子或离子的长程有序的周期性排列。按空间点阵学说,晶...〈111〉顺序减少，利用各向异性腐蚀通过SiO2掩膜在（100）硅片上开出V-沟槽。GaAs的（111）A面和（111）B面具有不同的腐蚀特性，A面 ...
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