深度集成

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1. 样品制备 SIMS分析样品的制备与电子探针分析时基本相同。具有精细抛光面的半导体、...离子探针深度分析在半导体材料、大规模集成元器件及表面科学的研究中占有重要的地位。5.同位素分析SIMS分析实质上是同位素分析,要做元素分析需经过 ...

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