溅射气压
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恒定气压下流量对溅射AIN薄膜结构性能的影响
研究了恒定气压下、通入不同气体流量对射频磁控溅射原位沉积氮化铝(AIN)薄膜应力、结晶质量和表面形貌的影响。利用应力分析仪、X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和台阶仪对AIN薄膜的结构特性进行...

《压电与声光》 2014年2期关键词: "溅射","氮化铝(","AIN)簿膜","通入气体流量","结构特性" 收藏
溅射气压对蓝宝石基ScAIN薄膜的影响
采用直流磁控溅射在(0001)蓝宝石基片上制备Sc掺杂AIN (ScAIN)薄膜，所用靶材是ScAl合金靶(Sco．06 Alo．94)。通过X线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)测量其结晶取向和...

《压电与声光》 2015年4期关键词: "AIN薄膜","蓝宝石","晶体结构","表面形貌","压电材料" 收藏