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外延生长薄膜和衬底属于同一物质的方法。反之称异质外延。...分子束外延是原子直接在衬底上进行沉积的方法。衬底材料要在沉积温度下不发生热分解，不受外延材料侵蚀，具有相近的热膨胀系数，晶格类型和晶格常数要与外延材料相互匹配，晶格失配率达7%时 ...
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010-56259535
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