多层薄膜
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multilayer film

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多层薄膜热应力模拟
针对MEMS器件和光电器件的薄膜结构在高温下产生的应力与应变会严重影响器件结构与功能的问题,本文采用Suhir异质生长薄膜热应力计算理论分析了三层薄膜结构的热应力大小分布情况,得到了不同镀膜温度、膜厚...

《应用力学学报》 2020年02期关键词: "薄膜"," 热应力"," 微机电系统"," 光电器件"," 有限元分析"," 应力消除" 收藏
PZT/NFO/LSMO多层磁电外延薄膜微观结构研究
用脉冲激光沉积法在（110）取向的SrTiO3（STO）单晶衬底上制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/NiFe2O4/La0.7Sr0.3MnO3（PZT/NFO/LSMO）磁电复合外延薄膜,...

《电子元件与材料》 2020年01期关键词: "PZT/NFO/LSMO外延薄膜"," TEM"," 微观结构"," 脉冲激光沉积"," 磁电耦合"," 生长模式" 收藏