微机械

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石英微机械陀螺敏感器件在多轴陀螺应用中，各敏感器件之间存在振动干扰，导致陀螺噪声过大，输出信号中存在低频信号，无法满足使用要求。应用减振技术设计了一款集成式的减振器，该减振器具有体积小、质量轻等特点。...

《压电与声光》 2014年4期 关键词: "石英微机械","陀螺","减振器","有限元" 收藏

微机械陀螺仪是陀螺技术和微电子机械系统( MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。根据其工作原理和采用材料的不同，微机械陀螺可分为硅基微机械振动陀螺( Si- MVGs)、微机械压电振动陀螺(PVGs...

《压电与声光》 2014年4期 关键词: "硅基微机械陀螺","微机械压电振动陀螺","石英微机械陀螺" 收藏

机械阻抗板( MIP)由刚性薄板与其周围黏贴的阻尼材料组成，利用其机械共振将声能耗散于黏性阻尼，阻抗板与微穿孔板相结合可提高传统微穿孔板(MPP)的低频吸声性能。计算组合结构吸声系数的关键是阻抗板后封...

《压电与声光》 2015年3期 关键词: "微穿孔板","机械阻抗","低频噪声","声顺","空气弹簧" 收藏

石英微机械陀螺是振动惯性器件，而陀螺敏感芯片结构的抗振动能力会直接影响陀螺的性能。由于工作环境的振动会对陀螺的性能产生一定的影响，因此需提高陀螺敏感芯片结构的抗振动能力。该文利用有限元仿真软件对敏感芯...

《压电与声光》 2015年4期 关键词: "石英微机械","陀螺","随机振动","有限元" 收藏

<p>随着我国经济快速的发展，航空航天事业、微机械加工业、生物工程都得到了比较迅速的发展，这些行业在发展的过程中，精密微小零件有着十分重要的作用，由此，促进了精密微小零件加工的发展。<br/></p>

《科技创新与应用》 2015年28期 关键词: "超精密加工","微机械","机械制造" 收藏

机械生产制造行业是世界工业的重中之重， 为了能够进一步发展机械工业，加强机械产品的实用价值，机械设计方面开始了更大的革 新与发展。 在机械生产方面， 随着制造业微观化的不断发展， 机械设计也越来越向着...

《科技创新导报》 2015年1期 关键词: "机械设计","微观化","结合","发展" 收藏

文章列举了钟表擒纵调速机构零部件的传统生产工艺技术特点，介绍了应用MEMS（Micro Electromechanical System）微电子机械系统技术，对单晶硅材料进行微机械加工的工艺方法。由于...

《科技中国》 2015年10期 关键词: "钟表零件","加工工艺","微机械加工（MEMS）" 收藏

给出了一种硅微机械陀螺制造方法，该方法可适用于各种不同的微机电系统( MEMS)器件，包括加速度计、剪切应力传感器及MEMS光开关等。利用该方法制备了硅微机械陀螺，并给出了该陀螺的性能测试结果。同时分...

《压电与声光》 2015年3期 关键词: "硅微陀螺仪","深刻蚀","键合","侧壁" 收藏

<p>文章分析了微小型机械零件的常规加工方法存在的问题，根据微小型机械零件的结构特征，对零件的加工方法和加工工<br/>艺进行研究，旨在保证微小型零件的加工精度及各种功能性要求。</p>

《科技创新与应用》 2015年35期 关键词: "微小型机械零件","结构特征","工艺研究" 收藏

<p>结合国内外研究现状，综述了基于C-MEMS（碳-微电子机械系统）超级电容器的研究进展。</p>

《科技创新与应用》 2015年11期 关键词: "","碳材料","超级电容器","双电层","微机电系统" 收藏