柔性衬底
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用非晶硅材料制成的太阳能电池。非晶硅又称无定形硅或玻璃硅 (a-Si)。...（b）后壁型图2硬衬底非晶硅太阳能电池典型工艺流程图通常把玻璃、陶瓷等称为硬衬底，把塑料、不锈钢带等称为柔性衬底。在柔性衬底上做太阳能电池，容易实现从滚筒到滚筒 ...

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基于LCP柔性衬底的MEMS V型梁结构的设计制备与表征
为探索在复杂环境应用中柔性衬底弯曲对V型梁结构力学特性的影响,提出了一种基于LCP柔性衬底弯曲条件下MEMS V型梁结构的力学分析方法,对柔性MEMS V型梁器件的弯曲特性从软件仿真和实验验证两个方面...

《电子器件》 2020年01期关键词: "MEMS"," 弯曲特性"," 柔性衬底弯曲"," V型梁结构"," 力学特性" 收藏