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silicon nitride film
搜索到与“ 硅薄膜”相关的文献共 4条
<p>通过等离子体增强化学气相沉积方法制备氢化非晶硅薄膜，薄膜的厚度约为200nm，再通过高温热退火处理形成致密度较好的、晶化率较高的、晶粒尺寸均匀的纳米硅量子点薄膜。<br/></p>
《科技经济导刊》 2015年28期 关键词: "等离子体","高温热退火","纳米硅量子点薄膜" 收藏
<p>太阳能光伏发电是一种可以凭借太阳能转化为电能的过程来满足社会化需求，通过此种策略来科学化的利用能源，从而避免对现有的非可再生资源等物质的过渡消耗。<br/></p>
《科技创新与应用》 2015年17期 关键词: "晶硅薄膜","制备","太阳电池","实际运用" 收藏
研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷( PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响。在128。YX -LiNb03压电基片上光刻叉指换能器(IDT)，其声传播路径上涂覆PDMS薄膜，IDT激发的SAW加...
《压电与声光》 2015年5期 关键词: "压电基片","薄膜","声表面波(SAW)","裹减","微流器件" 收藏
提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法。在128。YX -LiNb03压电基片上光刻叉指换能器，其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体，使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜...
《压电与声光》 2015年1期 关键词: "薄膜","形变","声表面波","微阀","微流器件" 收藏
010-56259535
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