氮化硅

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是共价化合物,六方晶系,有α-和β-Si3N4两种晶形。分子量140.29。......硅的形成和烧结同时完成;或采用硅粉氮化反应合成氮化硅粉后热压而成(烧结法)。氮化硅膜是由氯化硅-氨-氢等体系在一定温度下用气相沉积法形成,或采用射频溅 ...

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