纳米光刻

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机械共振的频率决定于系统的尺寸,对于单摆来说,ω=,其中l为单摆的长度,g为重力加速度。...悬臂可以用硅采用光刻的方法来制成,图2.1是一个“纳米竖琴”,其硅线的厚度为50@nm,长度L为1@000~8@000@nm,硅线没有像通常的音 ...

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