低温多晶硅

更新时间:-- | 阅读量: 107

以甲硅烷作介质的硅材料超提纯技术。是硅多晶的重要生产方法之一。...其反应式为:Mg2Si+4NH4ClSiH4↑+2MgCl2+4NH3↑SiH4再经低温精馏,然后经热分解得硅多晶棒。由于合成过程中有NH3存在,在以下工序的设备上装有真 ...

搜索到与“ 低温多晶硅”相关的文献共 0

查看更多

低温多晶硅相似词

低温多晶硅相关词

低温多晶硅相关期刊

Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved

京ICP备2021021570号-13

京公网安备 11011102000866号