更新时间:-- | 阅读量: 107
以甲硅烷作介质的硅材料超提纯技术。是硅多晶的重要生产方法之一。...其反应式为:Mg2Si+4NH4ClSiH4↑+2MgCl2+4NH3↑SiH4再经低温精馏,然后经热分解得硅多晶棒。由于合成过程中有NH3存在,在以下工序的设备上装有真 ...
搜索到与“ 低温多晶硅”相关的文献共 0条
《低温与超导》
《低温工程》
《制冷与空调(四川)》
《无机材料学报》
《制冷》
《低温与特气》
Copyright © 2013-2016 ZJHJ Corporation,All Rights Reserved
京ICP备2021021570号-13
京公网安备 11011102000866号