微压力传感器
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1.数字压力传感器 E8F2提高了视觉识别性附带LED表示的压力传感器。特点①观察简便。...压力显示器E8Y装有提高直观性的数字显示的用于微压的压力传感器。重复精确度为10%FS，分辨率为0.01kPa，可用于高精度的压力管理。4.差压 ...

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一种基于谐振原理的微型压力传感器设计
设计了一种结构简单的微型石英谐振式压力传感器，该传感器芯片由力学转换元件、谐振敏感元件和支撑元件3部分构成。仿真分析了压力100 kPa内传感器输出频率与输入压力的关系，经线性拟合后得出其最大相对非线...

《压电与声光》 2015年2期关键词: "石英","压力传感器","谐振","线性度","键合" 收藏