甲烷等离子体

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☞ 配方一: 厚度为0.5mm的硅酮橡胶膜,放入等离子体聚合体中,使之充分真空脱气,...4份四甲基硅烷和1份四氟甲烷的混合气体,以4.0cm3/min的速度流入等离子体聚合反应器中,在13.56MHz的高频电磁频率和50W ...

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