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由Ta和N、Al、Si等元素组成的薄膜电阻合金,有Ta-N,Ta-Al,Ta-Al-N,Ta-Si等合金。这类...氮化钽薄膜是一种温度系数小，稳定性高的低、中阻薄膜材料。通过基底热处理，可使电阻温度系数α在（0～-125）×10-6·℃ ...
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