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一种离子沉积方法,亦称为PVD法。是一种把金属蒸气离子化以后在高压静电场中使离子加...包括真空溅射、离子镀、离子注入等。与化学气相沉积法比较，具有沉积温度低（550℃以下）、沉积速度快、渗层的成分和结构可以控制、无公害等优点。
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