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沉积于其他材料表面,厚度小于1μm,且厚度与长度、宽度相比较几乎可以被忽略的贵金属材料。...采用化学气相沉积技术时，贵金属化合物以蒸气相的形式被输送到工件表面，通过加热，光解（紫外光或激光）或等离子体作用使化合物分解，沉积于工件表面形成 ...
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