器件设计工艺

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王守觉,半导体器件及微电子学家。中国科学院院士。...观察力敏锐、处事果断的王守觉毅然舍弃了正在研制并取得了一定结果的硅台面工艺,立即集中研究室力量转而投入对硅平面工艺的探索,并从工艺设备的设计建立着手,开展了硅平面型p—n结的研究。当时 ...

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