氧化钛薄膜
更新时间:-- | 阅读量: 120

9TiO2·91SiO2PEG-HO-(CH2CH2O)-nH基板

搜索到与“ 氧化钛薄膜”相关的文献共 1条

射频功率占比对氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响
本研究主要利用射频耦合直流磁控溅射技术,在室温下用TiO2陶瓷靶在玻璃基底上制备N掺杂到TiO2薄膜。同时也利用光学轮廓仪、X射线衍射、扫描电子显微镜、X射线光电子能谱和紫外可见光分光光度计研究了不同...

《真空》 2020年01期关键词: "2薄膜",")&#xA"," >TiO2薄膜"," 射频功率占比"," 直流耦合" 收藏