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利用波长为10.6μm的CO2连续激光诱导化学气相沉积的方法,在模具钢基体上沉积TiN类薄膜。采用XRD、OM、SEM、EDS等手段分析薄膜的组织和相结构。实验表明,当激光功率为600W,扫描速度为2...
《热处理技术与装备》 2007年01期 关键词: "模具钢"," 激光化学气相沉积"," 薄膜" 收藏
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