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relative humidity
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采用激光化学气相沉积法在Al2O3基底上以49μm·h-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa2Cu3O7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱...
《材料科学与工艺》 2020年02期 关键词: "激光化学气相沉积"," 7-δ薄膜","","Mjg5ODVoOFdqZTNOVzNsaTdUeDhTWGZtMmhCRGY4RGhNN09iQ09SdkZDbmtXNzdNSVYwV2JCQ0tQQy9xSE1EOUhhNmp0NGhZOA==)","
"," >YBa2Cu3O7-δ薄膜"," 高速沉积" 收藏
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