多晶硅太阳电池
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专用于制作太阳电池的一类半导体材料。光激发使半导体材料产生电子空穴对并为PN结(见半...太阳电池产品已广泛应用于通信、照明、交通信号、航标灯、家用电器、阴极防护、遥控仪器、水泵、消费性商品（如计算器、电子表）等领域，单晶硅太阳电池及砷化 ...

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多晶硅太阳电池片生产中的管式PECVD研究
本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成Si Nx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方法。

《自动化技术与应用》 2015年02期关键词: "PECVD"," 钝化"," 太阳电池"," 多晶硅" 收藏