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快速热处理是用定向光束或粒子束辐照半导体或半导体器件结构表面,对表面层进行加工和使...4.表面层杂质的再分布；5.促进和实现表面反应.用快速热处理代替高温炉热处理已成为超大规模集成（VLSI）工艺发展的一个明显趋势.
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