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碳氢化合物在一定的温度下分解,气相碳在基体上沉积,形成具有金刚石晶体结构的薄膜的工艺...C（s）+2H2（g）→CH4（g），激活能209～335kJ/mol甲烷化速度：10-1～102μg/cm3·h（1250℃时）C（s）+4H（g ...
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