薄膜结构

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研究了恒定气压下、通入不同气体流量对射频磁控溅射原位沉积氮化铝(AIN)薄膜应力、结晶质量和表面形貌的影响。利用应力分析仪、X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和台阶仪对AIN薄膜的结构特性进行...

《压电与声光》 2014年2期 关键词: "溅射","氮化铝(","AIN)簿膜","通入气体流量","结构特性" 收藏

本文综述了在自旋电子学器件上具有潜在应用前景的钙钛矿结构的Fe4N 薄膜及其异质结构的研究成果和最新进展情况。文章从引言开始，介绍了钙钛矿结构Fe4N 的晶体结构和基本性质；之后对多晶Fe4N 薄膜、...

《物理学进展》 2015年4期 关键词: "自旋电子学","Fe4N","薄膜","自旋阀","隧道结","表面形貌","晶体结构","磁性质","电输运特","性","磁电阻效应" 收藏

以钨粉和过氧化氢为主要原料，异丙醇为溶剂，采用一步溶剂热法对氧化钨水合物薄膜进行了形貌可控合成．利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和电化学工作站研究了不同模板剂对产物的物相、形貌及电化学性能的影响．结果...

《陕西科技大学学报（自然科学版）》 2015年2期 关键词: "氧化钨水合物薄膜","模板剂","电化学性能","形貌控制" 收藏

选用具有氮化硅镀层的硅片做为基片,采用磁控溅射方法制备了近等原子比镍钛钪合金薄膜,分别采用快速热处理和传统热处理对合金薄膜进行了退火,使用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了薄膜的微结构和表面形貌。结果...

《内蒙古大学学报(自然科学版)》 2020年01期 关键词: "镍钛钪合金薄膜"," 析出相"," 微结构"," 退火" 收藏

为考察水介质对二硫化钼（MoS2）薄膜结构和摩擦学性能的影响,采用沸腾蒸馏水对溅射MoS2薄膜进行水浴处理,并对水浴处理前后薄膜的微观结构、摩擦学性能进行了研究.研究发现,薄膜中同时存在晶体结构和非晶...

《摩擦学学报》 2020年02期 关键词: "溅射MoS2薄膜"," 水浴"," 结构"," 耐磨寿命" 收藏

采用激光化学气相沉积法在Al2O3基底上以49μm·h-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa2Cu3O7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱...

《材料科学与工艺》 2020年02期 关键词: "激光化学气相沉积"," 7-δ薄膜","","Mjg5ODVoOFdqZTNOVzNsaTdUeDhTWGZtMmhCRGY4RGhNN09iQ09SdkZDbmtXNzdNSVYwV2JCQ0tQQy9xSE1EOUhhNmp0NGhZOA==)","&#xA"," >YBa2Cu3O7-δ薄膜"," 高速沉积" 收藏

用脉冲激光沉积法在（110）取向的SrTiO3（STO）单晶衬底上制备了Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/NiFe2O4/La0.7Sr0.3MnO3（PZT/NFO/LSMO）磁电复合外延薄膜,...

《电子元件与材料》 2020年01期 关键词: "PZT/NFO/LSMO外延薄膜"," TEM"," 微观结构"," 脉冲激光沉积"," 磁电耦合"," 生长模式" 收藏