离子镀

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一种物理气相沉积方法,是将真空镀与真空溅射相结合的一种沉积技术,具有沉积速度快、...工件带3~5kV负高压并在其周形成一个阴极气体放电等离子区,通过气体正离子的轰击得到加热。与此同时,用电子枪或电阻加热等方法使阳极上的沉积物质蒸发并在等 ...

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