创新实验室

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王阳元,中国科学院院士,微电子学家,我国硅栅N沟道技术开拓者之一。在多晶硅薄膜物理和...实验室实行开放式运行,已有国内外30多个研究开发单位和40多位博士生(包括兄弟院校)来这个实验室进行创新性研究。利用这一平台,可以加工深槽刻蚀等立体 ...

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